一定要了解的特种气体的分类

发布日期:2022-08-17 17:19
特种气体的分类方式很多种,例如依照气体自身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。依照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。同时,以上分类存在穿插,例如四氯化硅(SiCl4)既属于硅系气体,又属于外延气体,同时在化学气相堆积(CVD)中也存在应用。

特种气体主要包括电子气体、医疗气体、规范气体、激光气体、食品气体、电光源气体等,其中,电子气体普遍用于集成电路、显现面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程,主要包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等,是下游行业关键性化工根底资料,被誉为电子产业的“粮食”和“源”,现有单元特种气体260余种,可配制成25000多种混合气体。

特种气体的主要消费工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处置、气体充装、气体剖析检测。能够依据客户的不同需求和产品的不同特性,采取不同的工序停止组合。
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